Фундаментальные проблемы современного материаловедения,  2016,  том 13,  №4, 437-443

 

Демьянов Б.Ф.1, Плотников В.А.2, Ярцев В.И.2, Соломатин К.В.2

Алмазоподобная структура аморфных углеродных пленок

1Алтайский государственный технический университет, Барнаул, Россия
2Алтайский государственный университет, Барнаул, Россия
Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript

В работе проведено исследование структуры тонкой углеродной пленки, полученной методом лазерного испарения графитовой мишени. Пленка имеет зернистую структуру с размером зерен 50-100 нм. Основной фазовой компонентой пленки являются кластеры алмаза, в которых углеродные атомы связаны sp3 связями, промежутки между кластерами алмаза заполнены атомами углерода с sp2 связями. Кластеры алмаза имеют размер около 1 нм, межплоскостные расстояния равны d111=0,207 нм, d220=0,119 нм.

Ключевые слова: углеродные пленки, лазерное испарение углеродных мишеней, аморфный алмаз, алмазоподобная структура, кластерная структура углеродных пленок.

УДК 669.017.3.534.2:539.2


 

Fundamental’nye problemy sovremennogo materialovedenia

(Basic Problems of Material Science (BPMS)) Vol. 13, No.4 (2016) 437-443

 

Demianov B.F.1, Plotnikov V.A.2, Yartsev V.I.2, Solomatin C.V.2

Diamond-like structure of the amorphous carbon films

1Altai State Technical University, Barnaul, Russia
2Altai State University, Barnaul, Russia

In the work investigated the structure of thin carbon films obtained by laser evaporation of a graphite target. The film has a granular structure with grain size 50-100 nm. The main phase component in the films are clusters of diamond, in which carbon atoms linked by sp3 bonds, the gaps between the clusters of diamond filled carbon atoms with sp2 bonds. The diamond clusters have a size of about 1 nm, the interplanar distance is equal to d111=0,207 nm, d220=0,119 nm.

Keywords: carbon films, laser evaporation of carbon targets, amorphous diamond, diamond-like structure, cluster structure of carbon films.