Фундаментальные проблемы современного материаловедения,  2014,  том 11,  №1


 

Плотников В.А., Макаров С.В., Макрушина А.Н.

Структурно-фазовое состояние бинарной тонкопленочной системы Cu-Sn

Алтайский государственный университет, Барнаул, Россия

В двухслойных и многослойных тонких пленках системы Cu-Sn при нагреве протекают химические реакции. Эти реакции приводят к образованию интерметаллического соединения Cu6Sn5. Процесс формирования интерметаллической пленки в ходе синтеза осуществлялся за счет быстрого зарождения и роста островков новой фазы. Структура тонкопленочного конденсата – неоднородная гетерогенная наноструктура, представленная в виде фрагментов размером 5,6 нм до нагрева и 20 нм – после нагрева до 6000С, с четко выраженными границами раздела. Рентгеноструктурный анализ  свидетельствует, что увеличение размеров зон когерентного рассеяния обусловлено ростом нанокристаллических островков интерметаллического соединения в ходе отжига.

Ключевые слова: тонкие пленки, интерметаллическое соединение, волна синтеза, объемный синтез, рентгенограмма, структурно-фазовое состояние, область когерентного рассеяния, рентгеноструктурный анализ тонких пленок.

УДК 539.21+539.234+539.264

Сведения об авторах:
Плотников Владимир Александрович, д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой АлтГУ, Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript
Макаров Сергей Викторович, к.ф.-м.н., доцент АлтГУ,
Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript
Макрушина Анна Николаевна, асп. АлтГУ,
Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript


 

Fundamental’nye problemy sovremennogo materialovedenia

(Basic Problems of Material Science (BPMS)) Vol. 11, No.1 (2014)

 

Plotnikov V.A., Makarov S.V., Makrushina A.N.

Structural-phase state of a thin film of a binary system Cu-Sn

Altai State University, Barnaul, Russia

Chemical reactions proceed during the heating in bilayer and multilayer thin films of copper-tin. These reactions lead to the formation of intermetallic compound Cu6Sn5. The process of formation of intermetallic film was carried out by due to the rapid nucleation and growth of islands of a new phase in the synthesis. The structure of the thin film of condensate is heterogeneous heterogeneous nanostructure, which is represented in the form of fragments the size of 5.6 nm to the heating and 20 nm – after heating to 6000C, with distinct boundaries. X-ray analysis shows that the increase in the size of the coherent scattering regions due to the growth of nanocrystalline intermetallic compound islands during annealing.

Keywords: the thin films, intermetallic compound, wave synthesis, surround synthesis, X-ray picture, structural-phase state, coherent scattering region, X-ray analysis of thin films.

Information about authors:
Plotnikov Vladimir Aleksandrovich, PhD, Hab., professor, AltSU head of department, Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript
Makarov Sergey Viktorovich
, PhD, AltSU docent, Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript
Makrushina Anna Nikolaevna
, AltSU graduate student, Этот e-mail адрес защищен от спам-ботов, для его просмотра у Вас должен быть включен Javascript